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院校名称: 浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室 级别: 省级
地 址: 杭州市玉泉 邮 编: 310027
联系人: 阙端麟 电 话: 0571--7951409
传 真: 7951358 E-mail: 未填
网 址: http://未填
单位简介:
高纯硅烷气体及延硅表面界面研究;颗粒硅生长机理的研究;高纯近本征硅单晶及区熔掺铟、掺镓硅单晶的研究;硅单晶生长机理与技术的研究;硅材料中的杂质、缺陷及其相互作用的研究;硅材料力学性能与硅加工技术的研究;硅材料与器件之间关系的研究.
 

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