清华大学微细工程研究所 - 高校院所 - 浙江省成果交易市场 - 德清科技大市场 - 浙江,德清,实验区,成果交易,技术转移,成果转移,成果拍卖,成果转化,技术需求,技术难题,技术专家,技术经纪人,技术中介,中介机构,技术合同认定

院校名称：	清华大学微细工程研究所	级别：	国家级
地址：	北京市清华大学9003大楼	邮编：	100084
联系人：	徐端颐	电话：	010--62782767
传真：	未填	E-mail：	\
网址：	http://未填
单位简介：
学科研究范围: 微米及亚微米超精细结构加工测试技术及设备,用于大规模集成电路、液晶显示器件的微细加工测试设备,超高密度光学数字式数据存储技术及设备,服务于生物医学工程、基因工程的超精密加工测试设备。科研成果: 直接分步投彩光刻机,光刻用自动对准系统,14英寸大面积紫外曝光机,高速精密电子束曝光机气浮工件台,微尺寸测量仪,自动调焦仪,相变光盘机,光/热效应型光盘读、写、擦除技术及系统,自动换盘系统,光盘阵列,生物基因枪,细胞测量仪等。学科分类: 物理学

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